3D光學(xué)輪廓儀對各種產(chǎn)品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。一句話概括就是超光滑表面（納米級）微觀形態(tài)的量度。

　　傳統(tǒng)的機(jī)械零件由于受加工設(shè)備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級。但隨著技術(shù)發(fā)展，人們對機(jī)械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進(jìn)，設(shè)備加工精度的提高帶動檢測技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機(jī)械零件有很大的局限性。

　　3D光學(xué)輪廓儀初應(yīng)用在光學(xué)加工行業(yè)時，其3D、高速、精密、可靠和穩(wěn)定，開始引起加工人士的注意并開始應(yīng)用。3D光學(xué)輪廓儀已在汽車發(fā)動機(jī)噴油嘴、半導(dǎo)體切割刀具、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標(biāo)定等方面有的應(yīng)用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機(jī)械加工檢測中呈現(xiàn)出新的應(yīng)用。

　　3D光學(xué)輪廓儀新一代的系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì)，具備高度彈性之組合配置，可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應(yīng)用：搭載電動鼻輪，zui多可同時掛載5種物鏡，使用時直接切換，省去手動更換的麻煩。同時配備電動調(diào)整移動平臺，可對樣品作自動調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大，適合各種自動量測之應(yīng)用，樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測與分析，使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。

　　3D光學(xué)輪廓儀之高度分辨率可達(dá)0.1 nm，而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達(dá)到100mm，且水平軸向亦可達(dá)次微米解析，除此3D光學(xué)輪廓儀可透過計(jì)算機(jī)控制移動平臺進(jìn)行水平掃瞄，使其水平軸向量測范圍可達(dá)到150 × 150mm，并可依據(jù)客戶需求修改平臺尺寸。3D光學(xué)輪廓儀搭配快速的校正程序以及演算原理，系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的算法，因此本系列產(chǎn)品可同時擁有高度以及大范圍量測的特質(zhì)。