光學(xué)輪廓儀
簡(jiǎn)要描述:Profilm3D光學(xué)輪廓儀讓3D光學(xué)輪廓測(cè)量的價(jià)格變得更加能夠接受。Profilm3D使用垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以優(yōu)勢(shì)的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。
- 產(chǎn)品型號(hào):Profilm3D
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間:2023-06-05
- 訪 問(wèn) 量:2067
Profilm3D 光學(xué)輪廓儀
低成本 – 高精度
Filmetrics讓3D光學(xué)輪廓測(cè)量的價(jià)格變得更加能夠接受。Profilm3D使用的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以優(yōu)勢(shì)的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。
100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái)
您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費(fèi)用嗎?我們現(xiàn)在每臺(tái)Profilm3D都將100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái),4孔物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)和手動(dòng)調(diào)平裝置作為標(biāo)準(zhǔn)配置。
超大的視場(chǎng)范圍
Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達(dá)到2mm的超大視場(chǎng)范圍,同時(shí)其4倍光學(xué)變焦的功能緩解了不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需求。這些都進(jìn)一步降低了采購(gòu)成本。
1 特征值
2 8 μm 臺(tái)階高度
3 度是指每天測(cè)量30次10um臺(tái)階高度標(biāo)樣的1次標(biāo)準(zhǔn)差,連續(xù)成功測(cè)量20天的平均值。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。
穩(wěn)定性是指連續(xù)成功測(cè)量10um臺(tái)階高度標(biāo)樣20天,取每天測(cè)量30次數(shù)值的平均值,計(jì)算2倍標(biāo)準(zhǔn)差。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。
4 所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過(guò)數(shù)位化的pixel binning實(shí)現(xiàn))
5 分開(kāi)銷售
6 樣品上投影的像素大小
7 樣品表面粗糙時(shí)可測(cè)傾角將大
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